TTV, BOW, WARP और TIR ये सभी शब्द सेमीकंडक्टर उद्योग में वेफर की सतह ज्यामिति के विभिन्न पहलुओं का वर्णन करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उच्च गुणवत्ता और सटीक विनिर्माण प्रक्रियाओं को सुनिश्चित करने के लिए इन शब्दों का उपयोग आमतौर पर सेमीकंडक्टर चिप्स के उत्पादन के दौरान किया जाता है।
टीटीवी का मतलब कुल मोटाई भिन्नता है और यह इसकी सतह पर वेफर की मोटाई में भिन्नता को संदर्भित करता है। विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान टीटीवी को मापना आवश्यक है क्योंकि यह अंतिम सेमीकंडक्टर चिप के प्रदर्शन और उपज को प्रभावित करता है। टीटीवी को मापने और नियंत्रित करके, निर्माता वेफर की एक समान मोटाई सुनिश्चित कर सकते हैं और उत्पादन प्रक्रिया में त्रुटियों को कम कर सकते हैं।
BOW, या झुकना, इसके व्यास में वेफर सतह के आकार को संदर्भित करता है। यह बिल्कुल सपाट सतह से वक्रता या विचलन की मात्रा है। उच्च BOW वाले वेफर्स को संसाधित करना अधिक चुनौतीपूर्ण हो सकता है क्योंकि वे पैटर्निंग प्रक्रिया के दौरान संरेखण और फोकस में समस्याएं पैदा कर सकते हैं। निर्माताओं को BOW को सटीक रूप से नियंत्रित करना चाहिए, ताकि वेफर्स से उत्पादित अर्धचालक उपकरण वांछित प्रदर्शन विनिर्देशों को पूरा कर सकें।
WARP किसी भी क्षेत्र में अपनी पूर्ण समतलता से वेफर की सतह के विचलन का वर्णन करता है। यह थर्मल तनाव या यांत्रिक बलों जैसे विभिन्न तनावों के कारण वेफर सतह की विकृति को संदर्भित करता है। WARP के परिणामस्वरूप सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण के दौरान वेफर्स के बीच गलत संरेखण हो सकता है, जिससे पैदावार कम हो सकती है। इसलिए, उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों को प्राप्त करने के लिए WARP की निगरानी और नियंत्रण आवश्यक है।
टीआईआर, या कुल संकेतित रनआउट, इसके घूर्णन अक्ष के संबंध में वेफर की समतलता में भिन्नता को संदर्भित करता है। यह उपाय वेफर प्रसंस्करण के दौरान सटीक संरेखण और फोकस सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है, खासकर पैटर्निंग प्रक्रिया के दौरान। उच्च टीआईआर वाले अर्धचालक अंतिम डिवाइस की उपज और प्रदर्शन पर नकारात्मक प्रभाव डाल सकते हैं।
TTW, BOW, WARP और TIR उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों को सुनिश्चित करने के लिए उपयोग किए जाने वाले महत्वपूर्ण उपाय हैं। वेफर उत्पादन प्रक्रिया के दौरान इन उपायों की उचित निगरानी और नियंत्रण बेहतर प्रदर्शन और उपज के साथ सटीक अर्धचालक उपकरणों को प्राप्त करने के लिए जरूरी है।