मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर की प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी

दूध पिलाना → पिघलना → गर्दन का विकास → कंधे का विकास → आइसोमेट्रिक विकास → पूंछ का विकास
(1) फीडिंग: पॉलीसिलिकॉन कच्चे माल और अशुद्धियों को क्वार्ट्ज क्रूसिबल में डालें। अशुद्धियों का प्रकार प्रतिरोध के एन या पी प्रकार पर निर्भर करता है। अशुद्धियों के प्रकार बोरॉन, फॉस्फोरस, एंटीमनी और आर्सेनिक हैं।
(2) पिघलना: क्वार्ट्ज क्रूसिबल में पॉलीसिलिकॉन कच्चे माल को जोड़ने के बाद, क्रिस्टल ग्रोथ भट्टी को बंद कर दिया जाना चाहिए और खाली कर दिया जाना चाहिए, फिर एक निश्चित दबाव सीमा बनाए रखने के लिए उच्च शुद्धता वाले आर्गन से भरा जाना चाहिए, और फिर ग्रेफाइट हीटर की शक्ति को चालू करना चाहिए पिघलने के तापमान (1420 डिग्री) तक गर्म करें, पॉलीसिलिकॉन कच्चा माल पिघल जाता है।
(3) गर्दन की वृद्धि: जब सिलिकॉन पिघल का तापमान स्थिर होता है, तो धीरे-धीरे बीज क्रिस्टल को सिलिकॉन पिघल में डुबो दें। थर्मल तनाव के कारण जब बीज क्रिस्टल सिलिकॉन पिघल क्षेत्र के संपर्क में होता है, तो बीज क्रिस्टल में अव्यवस्थाएं उत्पन्न होंगी, और इन अव्यवस्थाओं को नेकिंग ग्रोथ द्वारा समाप्त किया जाना चाहिए। नेकिंग ग्रोथ का तात्पर्य बीज क्रिस्टल को तेजी से ऊपर उठाना है, ताकि विकसित बीज क्रिस्टल का व्यास एक निश्चित आकार (4-6मिमी) तक कम हो जाए। चूंकि अव्यवस्था रेखा विकास अक्ष के साथ एक कोण बनाती है, जब तक नेकिंग पर्याप्त लंबी होती है, अव्यवस्था क्रिस्टल की सतह से बाहर बढ़ सकती है, जिससे शून्य अव्यवस्था वाले क्रिस्टल का निर्माण होता है।
(4) कंधे की वृद्धि: पतली गर्दन के बड़े होने के बाद, तापमान और खींचने की गति कम होनी चाहिए ताकि क्रिस्टल का व्यास धीरे-धीरे आवश्यक आकार तक बढ़ जाए।
(5) समान-व्यास वृद्धि: पतली गर्दन और कंधों के बड़े होने के बाद, खींचने की गति और तापमान को लगातार समायोजित करके पिंड का व्यास प्लस या माइनस 2 मिमी के बीच बनाए रखा जा सकता है। एक निश्चित व्यास वाला भाग आइसोडायमीटर भाग कहलाता है। मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर्स समान व्यास वाले खंडों से लिए जाते हैं।
(6) पूंछ का बढ़ना: समान व्यास वाले हिस्से के बड़े होने के बाद, यदि पिंड को तुरंत तरल सतह से अलग कर दिया जाए, तो थर्मल तनाव के कारण पिंड में अव्यवस्था और फिसलन रेखाएं पैदा हो जाएंगी। इसलिए, इस समस्या से बचने के लिए, पिंड का व्यास धीरे-धीरे कम किया जाना चाहिए जब तक कि यह एक तेज बिंदु न बन जाए और तरल सतह से अलग न हो जाए। इस प्रक्रिया को पूँछ वृद्धि कहा जाता है। विकसित क्रिस्टल पिंड को कुछ समय के लिए ठंडा करने के लिए ऊपरी भट्ठी कक्ष में ले जाया जाता है और फिर विकास चक्र को पूरा करने के लिए बाहर निकाला जाता है।