पतली फिल्म जमाव की एकरूपता की गणना कैसे करें?

पतली फिल्म जमाव की एकरूपता क्या है?

पतली फिल्म एकरूपता का तात्पर्य पूरे वेफर में पतली फिल्म की मोटाई वितरण की स्थिरता से है। अच्छी एकरूपता का मतलब है कि वेफर पर हर स्थिति में पतली फिल्म की मोटाई बहुत करीब है।

पतली फिल्म एकरूपता के प्रकार क्या हैं?

सामान्यतः निम्नलिखित प्रकारों पर विचार किया जाता है:

●वेफर के अंदर एकरूपताएकल वेफर के भीतर एकरूपता।

●वेफर-टू-वेफर एकरूपताविभिन्न वेफर्स के बीच एकरूपता।

●लॉट-टू-लॉट एकरूपतावेफर्स के विभिन्न बैचों के बीच एकरूपता।

एकरूपता की गणना कैसे की जाती है?

वेफर के भीतर एकरूपता को उदाहरण के रूप में लेते हुए, इसके मानक विचलन की गणना सूत्र का उपयोग करके की जाती है:

यह सूत्र प्रत्येक डेटा बिंदु और डेटा के माध्य के बीच वर्ग अंतर के औसत के वर्गमूल की गणना करता है।

σ (मानक विचलन): डेटा के फैलाव की डिग्री को दर्शाता है; मानक विचलन जितना बड़ा होगा, फैलाव उतना ही अधिक होगा।

Nमापे गए डेटा बिंदुओं की कुल संख्या.

ती: ith डेटा बिंदु का मोटाई मान.

अर्थ: सभी डेटा बिंदुओं का औसत मूल्य.

(ti−माध्य)^2: प्रत्येक डेटा बिंदु और माध्य के बीच का वर्ग अंतर।

∑: योग.

सूत्र को समझना थोड़ा कठिन है, इसलिए यहां एक उदाहरण दिया गया है:

मान लें कि हमारे पास पतली फिल्म मोटाई डेटा बिंदुओं का एक सेट है: 55.1, 54.8, 55.3, 54.9, 55.0, 54.7, 55.2, 54.9, 55.1, 54.8।

●सबसे पहले, इन 10 बिंदुओं का माध्य निकालें: माध्य=54.98.

●फिर, प्रत्येक मोटाई और माध्य के बीच वर्ग अंतर की गणना करें: {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0.0004, 0.0784, 0.0484, 0.0004, 0.0144, 0.0324.

●इन वर्गों के अंतरों को जोड़ें और औसत ज्ञात करें: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.

●अंत में, मानक विचलन की गणना करें: σ=0.193.