सिलिकॉन वेफर पॉलिशिंग पैड का उपयोग कहाँ किया जाता है?

पॉलिश किए गए वेफर्स सबसे अधिक उपयोग किए जाने वाले उत्पाद हैं, और अन्य सिलिकॉन वेफर उत्पाद पॉलिश किए गए वेफर्स के आधार पर द्वितीयक प्रसंस्करण द्वारा उत्पादित किए जाते हैं।
पॉलिश वेफर्स सबसे बुनियादी और व्यापक रूप से उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन वेफर्स हैं। पॉलिश किए गए वेफर्स का उपयोग सीधे सेमीकंडक्टर डिवाइस बनाने के लिए किया जा सकता है, व्यापक रूप से मेमोरी चिप्स और पावर उपकरणों में उपयोग किया जाता है, और एपिटैक्सियल वेफर्स, एसओआई सिलिकॉन वेफर्स और अन्य प्रकार के सिलिकॉन वेफर्स के लिए सब्सट्रेट सामग्री के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है।
एकीकृत सर्किट की विशेषता लाइन चौड़ाई के निरंतर सिकुड़ने और लिथोग्राफी की तेजी से बेहतर सटीकता के साथ, सिलिकॉन वेफर पर बेहद छोटी असमानता एकीकृत सर्किट ग्राफिक्स के विरूपण और अव्यवस्था का कारण बनेगी। सिलिकॉन वेफर विनिर्माण प्रौद्योगिकी उच्च और उच्च आवश्यकताओं और चुनौतियों का सामना कर रही है। चिप सतह के कण आकार और सफाई का भी अर्धचालक उत्पादों की उपज पर सीधा प्रभाव पड़ता है।
इसलिए, सिलिकॉन वेफर सतह की समतलता और सफाई में सुधार के लिए पॉलिशिंग प्रक्रिया बहुत महत्वपूर्ण है। मुख्य सिद्धांत अर्धचालक सिलिकॉन वेफर सतह के समतलीकरण को प्राप्त करना और संसाधित सतह पर अवशिष्ट क्षति परत को हटाकर खुरदरापन को कम करना है।